Umhverfisvernd hálfleiðaraiðnaðarins
Þar sem umhverfisvitund fólksins eykst, er það einnig athygli á umhverfisverndarmálum. Við höfum aðeins eina plánetu. Hvernig á að vernda líf okkar umhverfi á meðan að þróa hagkerfið hefur orðið brýn mál. Dragðu úr byrði á alþjóðlegu umhverfi, tryggja öryggi og heilsu og vernda umhverfið. Sparar orku til að spara auðlindir, endurvinna úrgang, draga úr úrgangi og stjórna losun efna hafa orðið samstaða fólks til að vernda umhverfið. Í tengslum við kynningu á ISO14000 vottun og markmiðið að byggja upp græna verksmiðju 21. aldarinnar hefur fólk lagt sitt af mörkum í umhverfisvernd. Sérstaða hálfleiðara framleiðsla iðnaður hefur gert ýmsar atvinnugreinar borga meira athygli á umhverfisvernd málefni.
Forvarnir á hlýnun jarðar
Að koma í veg fyrir hlýnun jarðhitakerfisins hefur orðið heitt umræðuefni sem hefur haft mikil áhrif á undanförnum árum. Í hálfleiðara framleiðsluiðnaði eru tvö helstu vandamál:
1. Orkusparnaður
Framleiðslubúnaður hálfleiðaraiðnaðarins, loftræstibúnaður, kælir / varmafjárbúnaður og notkun hreinnar vatns, fljótandi framboðs, útblásturslofts, gas, rafbúnaðar osfrv. Starfa stöðugt 24 tíma á dag, 365 daga á ári, og neyta mikillar orku. Af tegund orkunotkunar telur raforku og orka um 85% og orkugjafar eins og eldsneyti og gufu eru 15%. Frá notkun orkunotkunar er framleiðslubúnaðurinn fyrir um það bil 40% -50%, loftkæling, kælir / hitabúnaður búnaður er um 30% og annar aukabúnaður er um 25%.
Að spara orku, draga úr kostnaði og bæta vöru samkeppnishæfni eru verkefni sem fyrirtæki hafa verið að vinna í langan tíma. Annars vegar, með tæknilegri umbreytingu núverandi búnaðar, er hægt að ná umtalsverðum efnahagslegum ávinningi, en hins vegar er fjárfestingin í hálfleiðurum verksmiðjum nú mikil, þróun tækni er mjög hratt. Sem hálfleiðurum iðnaður ætti framtíðarrannsóknir á orkustöðvun að vera á eftirfarandi sviðum:
Framleiðsla búnaðar: bæta orkunýtingu skilvirkni og þannig bæta orkunotkun til að ná orkusparnað tilgangi; draga úr orkunotkun í búnaði biðstöðu, draga á sama hátt álag álag til að ná orkusparnaði; draga úr útblástursgetu búnaðarins. Meðhöndlun á útblásturslofti er minnkað til að ná orkusparnaði Uppsetningarsvæðið búnaðarins er minnkað til að stjórna svæðinu á hreinsunarsvæðinu til að ná orkusparnaði.
Aukahlutir búnaðar: lágmörkun búnaðar; lækkun á svæði hreinsunar svæði til að draga úr orkunotkun loftrennslis til að spara orku; notkun loftræstikerfis með lágt þrýstingsfall; Notkun nýrra einangrunar efna til að stuðla að jöfnun orkunotkunar; Notaðu koltvísýring sem myndast við að draga úr orkunotkun.
Varaþróun og vinnsluhönnun: þróun á virðisaukandi vörum; kostnaður-stilla vöruþróun (draga úr flís svæði, ferli stöðlun, styttri hönnun hringrás); aukin framleiðsla (aukin framleiðslugeta, minnkandi verkfræðilegur fjöldi og styttingartíminn).
Þróun hálfleiðaraiðnaðarins sjálfs hefur orðið hágæða, ljós, þunn og lítill orka. Stuðlað að orkuverndarstefnu fyrir vélar og búnað. Við hlökkum til kynningar á nýjum búnaði til orkusparnaðar.
2. Minnka PFC
PFC (PREFLUOROCARBON) er aðallega notað í CVD verkfræði fyrir hálfleiðurum framleiðslu, sem hreingerningar gas, og sem vinnslu gas í þurru ets verkfræði. PFC hefur verið innifalið í lækkun losunar vegna getu þess til að eyðileggja ósonlag jarðar. Flestir þeirra eru ekki beint meðhöndlaðar og losaðar beint í andrúmsloftið og draga úr losun PFC er mikilvægt mál sem framundan er í framleiðslu hálfleiðara.
Framtækar rannsóknarleiðir munu leggja áherslu á eftirfarandi þætti:
Þróun útfyllt PFC endurvinnslukerfis (með því að taka tillit til hvernig á að endurheimta, aðskilja og endurbæta PFC á árangursríkan og hagkvæman hátt); þróun nýrrar PFC vinnslu tækni (umbreyta PFC til losunar gróðurhúsalofttegunda)); þróun nýrra lofttegunda (skipti um lofttegundir sem nú eru notaðar við lofttegundir með lítilli hitastuðull í heiminum, þróun nýrra vinnsluferla (rannsóknir á nýjum etsferlum).
Áætlun Japan um að hafa stjórn á losun PFCs í rafeindatækniiðnaði, sem tilkynnt var í apríl 1998, leggur til lækkunarmarkmið sem byggist á 1995. Árið 2010 lækkar losun hvers verkefnis um 70% fyrir nýja línu. Línan er skorin um 10%. Bandaríkin hafa einnig sett markmið um endurheimtartíðni PFC sem notuð er í hálfleiðaraiðnaðinum. Hér eru innlendir iðnaðarleikarar boðið að taka mið af þessu máli snemma.