Rafstöðuvörn í hálfleiðaraframleiðslu
Í hálfleiðara framleiðsluferlinu er forvarnir og eftirlit með stöðurafmagni nauðsynleg. Ef forvarnir og eftirlit með stöðurafmagni er ekki framkvæmt munu vandamál eins og agnamengun, hálfleiðaraskemmdir vegna stöðurafhleðslu og stöðvun á tengdum búnaði eiga sér stað. Forvarnar- og stjórnunaráætlanir fyrir stöðurafmagn í hálfleiðaraframleiðsluferlinu innihalda: jarðtengingu, truflanir sem losa sig við og loftjónunarhlutleysisjónir. Til að mæta þeim kröfum sem hraðri þróun hálfleiðaraiðnaðarins hefur í för með sér, eru truflanir og loftjónarar einnig stöðugt að breytast.
Nauðsyn statískrar stjórnunar í hálfleiðaraframleiðslu
Á sviði hálfleiðaraframleiðslu er ómögulegt að útrýma algjörlega neikvæðum áhrifum stöðurafmagns. Jafnvel með kyrrstöðuvörn er erfitt að viðhalda háu stigi vörugæða og afraksturs. Hins vegar, ef skortur er á stöðustjórnun, agnmengun, skemmdir á rafstöðuafhleðslu og bilun í búnaði, eru þessi vandamál við framleiðslu á kísilhvarfefnum og ljósgrímum, í hreinu herbergi framenda hálfleiðara og í bakendaferlinu. þar á meðal samsetningu, pökkun og lokaprófun og sendingu. Það getur gerst hvenær sem er og hefur alvarleg áhrif á gæði hálfleiðaravara.
Stýringaraðferð hálfleiðara
Í framleiðsluumhverfi hálfleiðara, hvort sem það er í hreinu herbergi að framan eða í prófun að aftan, samsetningu og pökkun, ætti að nota jarðtengingu leiðara og truflanaleiðandi efni. Jarðtenging kemur í veg fyrir að stöðurafmagn verði myndað á einangruðum leiðara og truflanir. Ef þessi efni bera stöðurafmagn geta þau einnig tekið í burtu stöðurafmagn. Sérhvert leiðandi efni, þar á meðal starfsfólk, búnaður, verksmiðjuyfirborð (gólf, veggir, loft og vinnufletir) og vörur, ættu að hafa áreiðanlega jarðtengingu. Þessar jarðtengi skal athuga reglulega. Sumir ójarðaðir leiðarar eru venjulega truflanir.
Stöðugeyðandi efni dreifa kyrrstöðuhleðslum en viðhalda eiginleikum ákveðinna einangrunarefna (svo sem sveigjanleika og efnaþol). Ef þeir eru áreiðanlega jarðtengdir munu þeir ekki halda kyrrstöðuhleðslu. Í ákveðnum forritum (svo sem borðtölvum eða prófunarinnstungum) geta þessi efni komið í stað leiðaraefnis. Í þessum forritum geta þeir komist í snertingu við rafstöðuhlaðnar vörur. Hátt viðnám truflanaleysisefna (venjulega á bilinu 10^4 til 10^11 ohm) getur hægt á hleðsluhreyfingunni til að koma í veg fyrir skemmdir á rafstöðuafhleðslu. Efni sem losa truflanir verða að skoða og prófa reglulega. Mörg þessara efna samrýmast ekki hreinum herbergjum og truflanir munu breytast með tímanum og því verður að velja þau rétt þegar þau eru notuð.
Loftjónun er notuð til að hlutleysa stöðuhleðslur á einangrunartækjum (og einangruðum leiðara). Meginreglan er sú að jónari (jónavifta) myndar jónaský sem samanstendur af jákvæðum og neikvæðum loftjónum til að hlutleysa stöðurafmagn alls staðar í framleiðsluumhverfinu. Í framleiðsluferlinu verður að nota loftjónun til að stjórna rafstöðueiginleikanum sem myndast af einangrunartækinu. Til dæmis, margir þættir í framleiðslu hálfleiðara, eins og hreinleika, efnaþol og háhitaferli, treysta á einangrunarefni. Fyrir hálfleiðaraframleiðsluiðnaðinn þar sem handvirkar aðgerðir eru sjaldan notaðar, eru þessir einangrunartæki einnig nauðsynleg inni í vinnslubúnaðinum. Það mikilvægasta er að varan sjálf er einangrunarefni, hvort sem það er framhlið hálfleiðaraflís eða endanlega epoxýpakkað tæki.