EPA umhverfisvernd
Umhverfisvernd EPA getur bætt núverandi stöðu opinnar framleiðslu á verkstæðinu, forðast truflanir á rafmagni og öðrum vandamálum af völdum utanaðkomandi starfsmanna og hluta og dregið í raun úr myndun truflana á andstæðingur-truflanir vinnusvæði.
1. ESD aðgangsstýring. Rauntímavöktun á stöðu truflunar uppgötvunar starfsmanna sem fara inn í og fara út fyrir EPA svæðið, aðeins þeir sem standast ESD truflunar uppgötvunarprófið (úlnliður ól 750K ~ 35MΩ, rafstöðueiginleikar skór 750K ~ 100MΩ) geta farið inn á EPA svæðið;
2. Loftsturtuherbergi. Hreint loftið sem blásið er út úr loftsturtunni getur fjarlægt rykið sem fólk og vörur bera og getur í raun hindrað eða dregið úr rykgjafa frá því að komast inn í EPA svæðið;
3. Vöktun hitastigs og rakastigs. Rauntímavöktun á hitastigi og raka á EPA svæðinu, þannig að hitastig og raki á EPA svæðinu uppfylli stöðugt andstæðingur-truflanir staðla (hitastig 25 ± 10 ° C, rakastig 55 ± 20%);
4. Hreinlætisvöktun. Rauntímavöktun á rykögnum á EPA svæðinu, þannig að hreinleiki EPA svæðisins nái samsvarandi hreinleikavísitölu (flokki 100 hreinu herbergi, flokki 1.000 hreinu herbergi og flokki 10.000 hreinu herbergi);
Tveir, ESD truflanir brotthvarf
Rafeindabúnaðurinn sjálfur getur verið rafvæddur vegna snertingar og núnings við vinnuflötur og umbúðaefni við vinnslu, meðhöndlun og flutning. Þegar hlaðið rafeindatæki nálgast eða hefur samband við leiðara eða mannslíkamann verður til kyrrstöðu sem getur skemmt rafeindabúnaðinn.
1. Ion aðdáandi. Rauntímavöktun á frammistöðu jónviftunnar og stýrir jónajafnvæginu til að mæta bilinu ± 35V;
2. Multi-höfuð jón aðdáandi. Rauntímavöktun á afköstum fjölhöfuðjónaviftunnar og stýrir jónajafnvægi til að mæta bilinu ± 35V;
3. Ion vindur stafur. Rauntímavöktun á afköstum jónvindstangarinnar og stýrir jónajafnvæginu til að mæta bilinu ± 35V;